超精密清洗包括精密工业生产过程中对机械零件、电子元件，光学部件等的超精密清洗，以去除极微小污垢颗粒为目的。

超声波清洗机根据清洗方法的不同，也可以分为物理清洗和化学清洗：利用力学、声学、光学，电学、热学的原理，依靠外来能量的作用，如机械摩擦、超声波、负压、高压．)中击。紫外线、蒸汽等去除物体表面污垢的方法叫物理清洗；依靠化学反应的作用，利用化学药品或其它溶剂去除物体表面污垢的方法叫化学清洗．如用各种无机或有机酸去除物体表面的锈迹、水垢，用氧化剂去除物体表面的色斑。消毒剂杀灭微生物并去除霉斑等．物理清洗和化学清洗都存在着各自的优缺点，又具有很好的互补性。在实际应用过程中，通常都是把两者结合起来使用，以获得较好的清洗效果。

根据清洗媒介的不同，又可以分为湿式清洗和干式清洗：一般将在液体介质中进行的清洗称为湿式清洗，在气体介质中进行的清洗称为干式清洗．传统的清洗方式大多为湿式清洗，而人们比较容易理解的干式清洗也就是吸尘器．但近年来，干式清洗发展迅速．如激光清洗．紫外线清洗，等离子清洗、干冰清洗等，在高，精，尖工业技术领域得到快速发展。